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.一些欧洲公司已组成MEMS斥地集体. 今朝已有除夜量的微型机械或微型系统被研究出来.例如:尖端直径为5μm的微型镊子可以夹起一个红血球.尺寸为7mm×7mm×2mm的微型泵流量可达250μl/min能开动的汽车.在磁场中遨游的机械胡蝶.和集微型速度计.微型陀螺和灯号记号措置系统为一体的微型惯性组合(MIMU).德国创作发现了LIGA工艺.制成了悬臂梁.履行机构和微型泵.微型喷嘴.湿度.流量传感器和多种光学器件.美国加州理工学院在飞机翼面粘上相当数目标1mm的微梁.节制其盘曲角度以影响飞机的空气动力学特点.美国多量量出产的硅加速度计把微型传感器(机械部门)和集成电路(电灯号记号源.放除夜器.灯号记号措置和正检正电路等)一路集成在硅片上3mm×3mm的规模内.日本研制的数厘米见方的微型车床可加工精度达1.5μm的微细轴.
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